当今是以半导体技术为核心的信息时代，半导体在生产的过程中将会产生大量的有毒有害气体、有机和无机物等，那电子半导体的废气应该怎么处理呢？


电子半导体行业在生产时会使用显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液等溶剂，而这些溶剂是含有大量的有机物成分。


工业上的有机废气处理常用的工艺有:活性炭吸附处理法、酸碱中和法、等离子法、蓄热式热氧化法、催化燃烧法、吸收法、冷凝法等。


目前，电子半导体行业的废气一般采用蓄热式热氧化法（RTO）的废气处理方法，对于复杂废气的处理，多选择配套组合方式来处理。例如“”沸石浓缩装置+蓄热式热氧化（RTO）”。


关于蓄热式热氧化（RTO）三塔式废气处理(治理)装置

产品概述


蓄热式热力焚烧炉（RTO），是一种高效有机废气治理设备。与传统的催化燃烧、直燃式热氧化炉（TO）相比，具有热效率高（≥95%）、运行成本低、能处理大风量中低浓度废气等特点，浓度稍高时，还可进行二次余热回收，大大降低生产运营成本。


运作原理


RTO (Regenerative Thermal Oxidizer,简称RTO),蓄热式氧化炉。其原理是在高温下将废气中的有机物（VOCs)氧化成对应的二氧化碳和水，从而净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，三室RTO废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。根据客户实际需求，选择不同的热能回收方式和切换阀方式。


其原理是可燃有机废气在摄氏760～1000度发生热氧化反应，生成二氧化碳和水等。废气首先通过蓄热体加热到接近热氧化温度，而后进入燃烧室进行热氧化，氧化后的气体温度升高，有机物基本转化成二氧化碳和水。净化后的气体，经过另一蓄热体，温度下降，达到排放标准后进行排放。


RTO装置中的蓄热式陶瓷填充床换热器可最大限度回收热能，热回收率大于95%，处理VOCs时不用或使用很少的燃料。若处理低浓度废气，可选装浓缩装置，以降低燃料消耗。


根据客户需求，可设计两室、三室、多室或单室旋转式RTO装置。


工艺特点


1. 对工况要求低，废气中可以含有多种有机成分，处理风量范围大： 1,000～300,000Nm³/h；


2. 净化率高，两床式RTO净化率在95%以上，三床式RTO净化率在 99%以上；


3. 全自动控制，操作简单；操作费用低；


4. 运行费用低，当VOC浓度达到400ppm时，不需要额外的燃料消耗。  


应用行业


1.汽车、造船、摩托车、自行车、家用电器、汽修、轮胎等行业喷漆涂装车间产生的有机废气；


2.化工、制药、半导体制造、LCD制造、制鞋粘胶、印铁制罐、塑料注塑、油墨废气、印刷厂、电缆及漆包线等制造过程排放的有机废气。


3. 使用有机废气种类：烷烃、烯烃、醇类、酮类、醚类、酯类、芳烃、苯类等碳氢化合物有机废气。


4. 有机物低浓度(同时满足低于25%LFL)、大风量


5. 废气中含有多种有机成分、或有机成分经常发生变化


6.  含有容易使催化剂中毒或活性衰退成分的废气  

产品的优势


●几乎可以处理所有含有机化合物的废气

●可以处理风量大、浓度低的有机废气

●处理有机废气流量的弹性很大（名义流量20%~120%）

●可以适应有机废气中VOC的组成和浓度的变化、波动

●对废气中夹带少量灰尘、固体颗粒不敏感

●在所有热力燃烧净化法中热效率最高（>95%）

●在合适的废气浓度条件下无需添加辅助燃料而实现自供热操作

●净化效率高（三室>99%）

●维护工作量少、操作安全可靠